主页 关于我们 销售网络分布 BBS
查找  
Maxtek 代理产品 Maxtek 晶控仪/系统 膜厚控制仪
石英片

INFICON产品(代理)

薄膜镀层控制仪

来之技术领先者INFICON公司的最普及,最先进的多层薄膜控制仪SQC310系类,为您提供其他同类产品所没有的性能与特色。

同时可为您的应用选择理想的模式:顺序镀膜SQC310或共镀膜SQC310C。
用于顺序镀膜SQC310装备有2个传感器输入,2个源输出,和8个数字输入/输出,提供为这些数量加倍的扩展插件板选件;用于共镀膜SQC310C控制仪监测多至4个石英晶体传感器,带有4个PID控制输出,16个数字输入,和16个继电器输出,于SQC310规范相同。

特点:
*高亮度,1/4VGA活性点阵彩色LCD显示器,可显示英文或中文
*标准RS-232和USB(有以太网选件)
*易设置和操作,有“快速设置”菜单,6个上下文敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮
*Windows程序用于开发,测试,和下载工艺过程,和将仪器数据记录至您的PC上,用于过程分析与质量控制
*精确的过程控制,尤其用于低淀积率,在10读值/秒时的分辨率为+/-0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为+/-2ppm
*储存容量高至100个工艺过程,1000个膜层,50个膜系
*用单传感器或多传感器检测源材料,提供精确的源分布测测

选型参考配置:
单探配置:膜层控制仪#SQC310-2R2,垂直单探头#SL-B0E38,振荡器#782-934-003-10
双探配置:膜层控制仪#SQC310-2R2,垂直双探头#SPS-540-G1,法兰#750-707-G1,振荡器#782-934-003-10

前载式单探头
下载

INFICON前载式单晶体探头提供验证的可靠性和持久性,具有较好的热稳定性。可用于较小空间下的侧面和顶部安装应用,前载式结构易于装卸的晶体架,及机械插拔链接方式,可便于现场的更换和维护。
探头配置:
提供标准型和紧凑型两种探测配置,标准型用于从真空室的侧面或底部安装,冷却管与晶片是品行的;紧凑型用于真空系统的顶部安装,冷却管与晶片是垂直的。可选购探测器头部带有启动晶体挡板型(RateWatcherTM),用于源加热升温的过程中交替材料沉积或未使用晶体时对晶体的保护,来延长晶体寿命。为便于更换晶体,采用拉拔式结构。为有效地消除RF干扰问题,暴露的晶体电极是妥善接地的。
法兰:
产品可选带有INFICON提供两种法兰:1”螺丝法兰或2?”(CF40)ConFlat?法兰,可按用户需要提供KF40法兰。
前载式探测器,可选焊接或直口接头。法兰可沿管长移动,对于“E”长度探测器,在真空系统内的长度可在20.3cm至71.1cm(8”-28”)的范围内调整,对于“G”长度探头,可在20.3cm-21.9cm(8”-48”)范围内调整。一旦确定所需长度,直口接头可用手指拧紧管密封件。

优点:
*前载式晶体支架
*易安装
*提供2.54cm(1”)螺纹法兰、CF40法兰
*如订购直接接头的,可调节长度
*可按客户要求提供特定长度焊接的探头/法兰组合
*如订购直口接头的,无需钎焊或焊接法兰

SL-B0E38垂直单探头